徳島県立城南高等学校
 
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電子線リソグラフィー

電子線リソグラフィー実習

 まず、レベル10000およびレベル100クリーンルームを見学させていただき、次に電子線リソグラフィー装置を利用して、ガラス板表面に金で字や絵を描いてみました。

電子線リソグラフィー実習1
防塵服に着替えます
電子線リソグラフィー実習2
奥で作業しています
電子線リソグラフィー実習3
ガラス板を順番の液に浸けていきます
電子線リソグラフィー実習4
完成した作品です

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